Micromotor de Sandia
Microelectromecánicos Systems, MEMS, son sistemas basados en una serie de tecnologias,lo cual son diminutos elementos mecánicos, sensores y actuadores, puede ser implementados. Resulta que estos elementos tienen ciertas propiedades. El excelente sistema son con frecuencia, que la interfaz con microelectronicos de conducción o elementos sensibles ( VA) de envases o en la misma oblea de silicio. El silicio semiconductor no sólo es bueno para la fabricación de electrónica, pero sus propiedades físicas son muy buenas.
La mayoría de los componentes de MEMS se implementan mediante procesos parecidos a los utilizados para la producción de microchips (circuitos VLSI). En los días anteriores de la difusiones y desarrollo de MEMS y grabados en obleas a granel se utiliza , sensoreprincipalmente ( "micro a granel"). Más tarde, "micromaquinas superficie" ha desarrollado una técnica que ha dado el ámbito de un verdadero estímulo. Ese tipo de proceso puede ser comparado a hornear un pastel de crema de apilamiento de varias capas. La "crema" en la torta se asemeja a lo que se llama "capas de sacrificio" que separan a otros "capas estructurales", cuando la construcción de la unidad. Las capas de sacrificio son los espaciadores que más tarde se retiran, lo que las capas estructurales para ser liberados. De esta manera los elementos mecánicos tales como vigas, diafragmas o los discos son libres de moverse como se pretendía. La ventaja de utilizar técnicas de procesamiento de IC no es sólo para poder poner en práctica las microestructuras, sino también para que miles o millones de elementos iguales a ser fabricado, al mismo tiempo a un bajo costo (procesamiento por lotes).
Interruptor de MENS (CL Goldsmith, et al.)
En este mundo de micro el diseñador tiene que hacer frente a los efectos y las fuerzas de dimensiones muy distintas en el mundo macroscópico, como las fuerzas atómicas y los efectos de superficie. Sin embargo, un completamente nuevo grado de freeedom también se da al diseñador del sistema. Además de lo que puede lograrse sólo mediante el uso de componentes electrónicos, otro excitante gama de efectos están disponibles! El diseñador puede utilizar las propiedades físicas mecánicos o por otros en los materiales y selecciona los que son más adecuados para su aplicación. Un montón de principios físicos que existen al seleccionar la que se utilizará, por ejemplo, en un diseño de detector real. Típicamente, un condensador o valor de resistencia puede cambiar cuando un microbeam delgada membrana elástica o se desvía. El cambio de la tensión mecánica en una estructura puede ser el resultado cuando la experiencia de MEMS una aceleración o por una carga de presión aplicada (detección). Microelementos pueden ser obligados a pasar con la activación electrostática (actuación). Motores de ese modo la micro, microespejos muebles o rejillas orientables se puede implementar, o pequeñas partículas de fluidos puede ser forzado a través de diferentes zonas de temperatura, etc Para implementar sistemas completos, es esencial que los efectos físicos en los micro elementos, tales como la tensión y el estrés, puede ser convierte a las corrientes eléctricas y las diferencias de potencial que más adelante puede ser manejado por la microelectrónica en formas más o menos integrados (por ejemplos integrados).
Hoy en día hay una creciente actividad en el desarrollo de procesos de MEMS, herramientas de diseño y aplicaciones. Grandes expectativas existen en cuanto a la importancia del campo en el futuro. De la misma manera como la microelectrónica y computadoras han revolucionado nuestra vida cotidiana y llegó a un uso generalizado, parece probable, según los investigadores más entusiastas, que microsistemas podría ser la próxima ola. Numerosos tipos de unidades basadas en la tecnología MEMS podrían ser producidos en grandes cantidades y repartidos por diversas aplicaciones, que directa o indirectamente pudieran detectar o nos ayudan a controlar nuestro entorno físico. Algunas personas dicen que este campo tendrá un gran impacto y penetración en el desarrollo de nuestra sociedad.
El campo de MEMS es por su naturaleza una mezcla de muy diversas disciplinas como la física, la química, las matemáticas y la informática, la tecnología de materiales, electrónica, modelado y herramientas de CAD deben ser resaltados. El campo de investigación es muy diversa, que incluye campos como el desarrollo de la fabricación de nuevos y técnicas de procesamiento, la investigación de nuevos principios físicos y estructuras, ASIC (Application Specific Integrated Circuits) de MEMS, herramientas de diseño, aplicaciones, etc un desarrollo continuo hacia la miniaturización (nanotecnología) y por tanto, una integración más denso, es una fuerza impulsora.
Inductor de MENS (JB Yoon et al.)
Condensador de MENS sintonizable. (A. & K. Suyama diciembre)
Enfoque de investigación: RF MEMS
La tecnología MEMS puede ser usado para aplicar interruptores de alta calidad, varactores (reactores variable), inductores, resonadores, filtros y cambiadores de fase. Entre la amplia gama de aplicaciones de la tecnología MEMS ofrece una posibilidad única para poner en práctica resonatores micromecánica y filtros de alto rendimiento con respecto a la selectividad y Q-factores. Cuando se combinan estas estructuras mecánicas con la microelectrónica, las partes centrales de los sistemas inalámbricos, sistemas de RF (Radio Frecuencia de los sistemas) pueden ser implementados. Algunos ejemplos son los diferentes tipos de osciladores, VCO (osciladores de voltaje controlado), mezcladores y filtros de agudos. Las estructuras de MEMS lo que puede reemplazar chip costosas y pesadas fuera tradicionales componentes discretos, haciendo posible soluciones integradas que pueden ser procesadas por lotes. Vibrante resonadores de MEMS y filtros que se han aplicado hasta el momento se basan en las vibraciones mecánicas en sentido lateral o vertical en las obleas de silicio. Diferentes tipos de vigas, estructuras de peine y los discos se puede utilizar.
Filtro RF MENS. (A.-C. Wong, H. Ding, y CT-C. Nguyen).
http://heim.ifi.uio.no/~oddvar/rfmems.htm
Hermes Quiroz. Comunicaciones de RadioFrecuencia. CRF.
No hay comentarios:
Publicar un comentario